產(chǎn)品中心

光學膜厚量測系列

3D光學缺陷檢測系列

集成式膜厚及關(guān)鍵尺寸量測系列

明場光學缺陷檢測系列

光學缺陷檢測系列

光學關(guān)鍵尺寸量測系列

關(guān)于我們
睿勵科學儀器(上海)有限公司是于2005年創(chuàng)建的合資公司,致力于研發(fā)、生產(chǎn)和銷售具有自主知識產(chǎn)權(quán)的集成電路生產(chǎn)制造工藝裝備產(chǎn)業(yè)中的工藝檢測設(shè)備。
公司的產(chǎn)品填補國家重大產(chǎn)業(yè)鏈中的重要空白,自列入了2005年上海市科教興市重大產(chǎn)業(yè)科技攻關(guān)項目起,,得到了政府和業(yè)界的大力支持和高度關(guān)注。
公司將通過不斷吸收和培養(yǎng)人才,建立和發(fā)展業(yè)界一流的具有自主創(chuàng)新能力的企業(yè)和團隊,達到并持續(xù)保持在國際及國內(nèi)相應(yīng)產(chǎn)業(yè)和市場的領(lǐng)先地位。
新聞資訊


2026-03-30
【歷史新高】7臺設(shè)備同日交付重要客戶
近日,7臺高精度光學檢測設(shè)備(WSD系列)完成調(diào)試與檢驗,正式裝車發(fā)往客戶現(xiàn)場。此次集中批量發(fā)貨,即是市場對公司產(chǎn)品品質(zhì)…


2024-11-13
睿勵科學儀器新生產(chǎn)中心正式啟用,開啟量檢…

2023-08-28
睿勵入圍第五批國家級專精特新“小巨人”企…




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